1923'te Artvin'de doğdu. İzmir Atatürk Lisesi'ni (1941), İTÜ Mimarlık Fakültesi'ni (1947) bitirdi. Aynı yıl Bayındırlık Bakanlığı Şehircilik Fen Heyeti'nde yüksek mühendis mimar olarak göreve başladı. 1955 yılında Fen Heyeti Müdürü oldu. Fransız hükümetinin sağladığı bursla altı ay Fransa'da çeşitli araştırmalarda bulundu (1956). Aynı yılın sonlarında Birleşmiş Milletler bursu ile ABD Pennsylvania Üniversitesi'nde kent planlaması yüksek lisans öğrenimini tamamladı. Dönüşte İmar ve İskan Bakanlığı'nda Planlama ve İmar Genel Müdür Yardımcısı olarak görev aldı (1959-61). 1961'de ODTÜ'ye geçti. Şehir ve Bölge Planlama Bölüm Başkanlığı (1962-67) ve bir dönem Mimarlık Fakültesi Dekanlığı yaptı. 1968 yılında doçent olan Rauf Beyru, ertesi yıl mimarlık ve şehircilik bölümlerini oluşturmak üzere Ege Üniversitesi'ne geçti. 1973'te profesör oldu. 1975-81 yılları arasında yeni kurulan Güzel Sanatlar Fakültesi Dekanlığı'nı yürüttü. Ardından emekliliğini isteyerek Kral Suud Üniversitesi'nde (Riyad) ders vermeye başladı (1981-87). Mimarlık ve Şehircilik proje yarışmalarında çok sayıda ödülleri olan Beyru'nun yine çok sayıda jüri üyelikleri, kitap, makale ve bildirileri vardır. Halen İzmir kentine ilişkin araştırmalarını sürdürmektedir.